机【jī】器人【rén】：目前公【gōng】司【sī】已成【chéng】功研发【fā】多款新型双臂真空机械手，部分产【chǎn】品已进入客户端验证阶段【duàn】，预计未来将成为公【gōng】司半导体业务【wù】新的【de】增长点

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同花顺（300033）金融研究中心【xīn】9-22讯【xùn】，有投资【zī】者向【xiàng】机器人【rén】（300024）提问【wèn】， 董秘，您好！请问贵【guì】公司有半导【dǎo】体设【shè】备的订单？请回复，谢谢。

公司回答表【biǎo】示，您好，公司半导体装备业务产品主要为自主【zhǔ】研【yán】发的【de】真空机械手及集【jí】束【shù】型设【shè】备，包【bāo】括：大气机【jī】械手、真空机械【xiè】手等系列产【chǎn】品【pǐn】、EFEM、真空传【chuán】输平台，主要应用在刻【kè】蚀、CVD、PVD、CMP、Descum、立【lì】式炉等工艺环节及领域【yù】，服务的【de】下游行业【yè】是【shì】半导体【tǐ】工艺设备【bèi】厂商。2022年度，公司半导体设备产业化应【yīng】用初具规模，广泛服务于硅片生产、晶圆【yuán】加工、先进封【fēng】装及封装测试等【děng】半【bàn】导体制造【zào】全产业链，为客户产【chǎn】业【yè】链及供应链安全的稳定提供多元保【bǎo】障，品牌效应显现。真空机【jī】械手方面【miàn】，两轴【zhóu】真空直驱【qū】机械【xiè】手产品，已实现小批量、多【duō】批次应用在客户端，公司目前【qián】已完成13种两轴真空直驱机械手平台的研发【fā】。三轴真空直驱机械手产【chǎn】品，处于客户端验证阶【jiē】段，其结合全新控【kòng】制器软硬件平台的【de】应用【yòng】，可支撑下游客户的长期【qī】应用【yòng】。四【sì】轴真空直驱机械手【shǒu】产品处【chù】于研发阶【jiē】段【duàn】。目前，公司已成功研发多款新型双臂真空机【jī】械手，部分产【chǎn】品已进入【rù】客户端验证阶段【duàn】，预计未来【lái】将成为【wéi】公司半导体业务新的增长【zhǎng】点【diǎn】。2022年度，公司半导体【tǐ】装【zhuāng】备业【yè】务实现【xiàn】收入2.44亿【yì】元。公【gōng】司半导体装【zhuāng】备【bèi】业务的具体情【qíng】况，请您【nín】查【chá】阅公司《2022年年度报告》。